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Duke PD-092 SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒

簡要描述:NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn),用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點

  • 產(chǎn)品型號:SURF-CAL
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2017-06-11
  • 訪  問  量:3253

詳細(xì)介紹

Duke PD-092 SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒

NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn),用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片(PSL)表面,用戶以對掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo),并與其它的掃描儀進(jìn)行對比。 用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml,微粒分散于超凈過濾去離子水中,微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100(粒徑1.112 μm)和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀(DMA)和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。

 

尺度測量方法學(xué):

為了確保與NIST的直接溯源性,產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法(1994年版“NIST測量結(jié)果不確性評估指導(dǎo)方案”)計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴大性不確因素,覆蓋因子數(shù)為2 (K=2)。

 

微粒組成:

聚苯乙烯

微粒密度

1.05g/cm3

微粒數(shù)量:

3 x 108 or 1010顆/毫升

包裝規(guī)格:

50ml瓶裝,每盒6瓶

微粒折射率:

1.59 @ 589 nm (25°C)

添加劑:

產(chǎn)品保質(zhì)期:

≥2年

存儲條件:

冰箱儲藏(冰點以上)防止冰凍,緊閉瓶蓋防止污染

包裝內(nèi)容

標(biāo)與溯源證書、粒子計數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表(MSDS)

 

Catalog Number
(particles per mL)

Certified
Peak
Diameter

Expanded
Uncertainty
(of peak diameter)

Sie Distribution

3 x 108

1010

 

 

Std. Dev.

C.V.%

FWHM% *

PD-047

PD-047B

0.047 µm

0.002 µm

0.004 µm

7.5%

17.4%

PD-064

PD-064B

0.064 µm

0.002 µm

0.003 µm

5.4%

10.9%

PD-083

PD-083B

0.083 µm

0.002 µm

0.004 µm

4.2%

9.6%

PD-092

PD-092B

0.092 µm

0.005 µm

0.004 µm

4.6%

9.1%

PD-100

PD-100B

0.100 µm

0.005 µm

0.004 µm

2.6%

5.2%

PD-125

PD-125B

0.126 µm

0.006 µm

0.003 µm

2.4%

4.8%

PD-155

PD-155B

0.155 µm

0.003 µm

0.003 µm

1.6%

3.7%

PD-200

PD-200B

0.202 µm

0.005 µm

0.004 µm

1.8%

4.0%

PD-204

PD-204B

0.204 µm

0.008 µm

0.004 µm

1.8%

3.7%

PD-215

PD-215B

0.220 µm

0.007 µm

0.003 µm

1.6%

3.3%

PD-305

PD-305B

0.304 µm

0.005 µm

0.004 µm

1.4%

3.4%

PD-365

PD-365B

0.360 µm

0.013 µm

0.010 µm

2.0%

5.0%

PD-500

PD-500B

0.498 µm

0.010 µm

0.006 µm

1.1%

2.5%

PD-800

PD-800B

0.809 µm

0.014 µm

0.006 µm

0.8%

1.8%

PD-802

PD-802B

0.802 µm

0.011 µm

0.009 µm

1.1%

2.4%

PD1100

PD1100B

1.112 µm

0.018 µm

0.011 µm

1.0%

2.5%

PD1600

 

1.59 µm

0.02 µm

0.016 µm

1.0%

2.6%

PD2000

 

2.01 µm

0.04 µm

0.019 µm

1.0%

3.3%

PD3000

 

3.04 µm

0.06 µm

0.026 µm

0.9%

2.7%

 

杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 熱電粒子 熱電標(biāo)準(zhǔn)粒子 thermo粒子 thermo標(biāo)準(zhǔn)粒子 賽默粒子 賽默標(biāo)準(zhǔn)粒子飛世爾粒子 飛世爾標(biāo)準(zhǔn)粒子 fisher粒子 fisher標(biāo)準(zhǔn)粒子 (Duke thermo fisher) 美國Duke杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 聚苯乙烯  DUKE標(biāo)準(zhǔn)粒子粒準(zhǔn)乳膠球粒子聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)微粒微粒子/  Duke粒子 液體顆粒計數(shù)儀用  Duke 杜克3000系列20-900nm 產(chǎn)品描述: Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 3000系列-聚苯乙烯納米微粒 20-900nm 儀器介紹 Duke科學(xué)  Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 SURF-CAL用于半導(dǎo)體晶片掃描,0.047-3um  美國Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子  3000 系列——-納米尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子(15mL包裝,1%固體含量) Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-COUNT-CAL系列 Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 挑戰(zhàn)性標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-EY-Cal系列(2-70um)  標(biāo)準(zhǔn)顆粒    標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)  DUKE粒子  標(biāo)準(zhǔn)粒子 杜克粒子 美國杜克 NIST粒子 NIST標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)   溯源粒子 溯源物質(zhì)  溯源粒子 進(jìn)口粒子 Duke 金屬和礦物粒子和微球  Duke Fluoro-Max 綠色和紅色干粉狀熒光微球 Duke Fluoro-Max熒光標(biāo)記粒子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑戰(zhàn)微粒 Duke OptiBind 聚苯乙烯(PS)微粒 Duke OptiLink 羧基修飾聚苯乙烯微粒 Duke PHARM-TRO計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)系列  Duke Power-Bind 鏈霉親和素微粒 Duke Sera-Mag磁性微珠  Duke Smoke-Check Duke Validex 計數(shù)精度尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 粒子計數(shù)器標(biāo)準(zhǔn) 3K,4K系列 Duke 球形玻璃材料 Duke 8000系列硅微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke 9000系列玻璃微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere-T彩色尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke Color-Rich染色羧基修飾微球 Duke COUNT-CAL標(biāo)準(zhǔn)顆粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計數(shù)質(zhì)控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光路排序校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒 Duke EY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列  Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列聚合物微粒懸浮液 Duke 2000系列均勻尺度聚合物標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強度驗證微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒光強度校正微粒 Clintex 標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke DRI-CAL系列干粉標(biāo)準(zhǔn)粒子歐共體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)局(BCR)認(rèn)證石英參考顆粒 Duke 3000系列納米級尺度標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere 彩色顯色微球 - 干粉 Duke 花粉和孢子非高分子聚合物微粒——球形植物孢粒和花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸浮綠色 紅色 藍(lán)色熒光微球 Duke 7000系列共聚物微粒懸浮液 Duke SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒  Duke 4000系列聚合物微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke EY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列

 

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